МОС-гидридная эпитаксия в технологии материалов фотоники и электроники - Р. Х. Акчурин

МОС-гидридная эпитаксия в технологии материалов фотоники и электроники
  • Авторы: Р. Х. Акчурин
  • Научный редактор: Никифор Жлопак
  • Год написания: 2018
  • Формат: txt, pdf, epub, fb2
  • Главный художник: Софрон Львович Косоротов
  • Мир материалов и технологий (Техносфера)
  • Количество страниц - 692

Информация о книге: МОС-гидридная эпитаксия в технологии материалов фотоники и электроники


В книге рассмотрены теоретические и практические аспекты МОС-гидридной эпитаксии (МОСГЭ) – одного из наиболее гибких и производительных современных методов получения полупроводниковых структур. Кратко изложены физико-химические основы метода, приведено описание высокопроизводительного технологического оборудования для реализации МОСГЭ и методов контроля роста эпитаксиальных слоев in situ , затронуты вопросы моделирования процессов. Практические аспекты реализации метода подробно рассмотрены на примере формирования эпитаксиальных структур полупроводников AIIIBV, AIIBVI и твердых растворов на их основе – основных материалов современной оптоэлектроники и ИК-техники. Значительное внимание уделено формированию наноразмерных эпитаксиальных структур и гетероструктур на основе нитридов элементов III группы, технология которых получила стремительное развитие в последние годы. Рассмотрены вопросы адаптации метода МОСГЭ к получению ряда новых материалов электронной техники. Книга предназначена специалистам в области технологии полупроводниковых материалов, может быть полезна аспирантам и студентам соответствующих специальностей. Скачать Р. Х. Акчурин : МОС-гидридная эпитаксия в технологии материалов фотоники и электроники.


МОС-гидридная эпитаксия в технологии материалов фотоники и электроники - Р. Х. Акчурин

МОС-гидридная эпитаксия в технологии материалов фотоники и электроники - Р. Х. Акчурин


avatar